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產(chǎn)品中心材料樣品檢測微型高低溫真空探針臺KT-0904T-RL微型高低溫真空探針臺
產(chǎn)品簡介
微型高低溫真空探針臺，這款真空變溫探針臺是專業(yè)變溫真空晶圓流測試設(shè)計的專業(yè)變溫真空探針臺,滿足晶圓變溫光電測試需要,測試溫度范圍達到液氮溫度 -190℃~350℃,特別適合*溫和極低溫環(huán)境下晶圓真空變溫測試和射頻測試。
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產(chǎn)品分類| 品牌 | 鄭科探 | 腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 |
|---|
微型高低溫真空探針臺KT-0904T-RL是一款高性價比配置的真空高低溫探針臺，功能齊全，價格較低等特點。
高性價比真空高低溫探針臺系統(tǒng)
鄭州科探儀器設(shè)備有限公司為用戶提供了高性價比配置的真空高低溫探針臺，該系統(tǒng)配置了溫度控制系統(tǒng)，為用戶提供精準、穩(wěn)定、高效的溫度控制，節(jié)約用戶的設(shè)備預(yù)算。
配套了高精度PID溫度控制器，用戶可以清楚直觀地了解了整體系統(tǒng)相關(guān)位置的溫度情況，確保溫度測試的可靠性。同時，200W 大功率直流輸出，可讓樣品臺快速從-196℃上升至400℃，極大地提供了溫控效率，為用戶節(jié)省大量寶貴的實驗時間。由于系統(tǒng)中溫控部件均為直流配置，也大大地減少了加熱部件的干擾，提供了系統(tǒng) 的漏電精度。
真空變溫探針臺特點
測試溫度：-190℃~350℃
適合高功率器件測試20kV DC/200A
即使在真空狀態(tài)下，也可以使用外部操作型定位器（探頭）移動致動器
良好的光和電屏蔽效果
KT-0904T-RL型探針臺可用于霍爾效應(yīng)測量
微型高低溫真空探針臺KT-0904T-RL技術(shù)參數(shù)；
真空腔體 | |
類型 | 加熱型350℃ 或者加熱制冷型 室溫到350℃ 室溫到-190℃ |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 |
腔體內(nèi)尺寸 | φ90x40mm |
腔體上視窗尺寸 | Φ42mm（選配凹視窗Φ22mm） |
腔體抽氣口 | KF16 |
腔體進氣口 | 公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選 |
腔體出氣口 | 公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選 |
腔體正壓 | ≤0.05MPa |
腔體真空度 | 機械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘） |
樣品臺 | |
樣品臺材質(zhì) | 304不銹鋼 |
樣品臺尺寸 | 26X26mm |
樣品臺-視窗 距離 | 30mm（可選凹視窗間距15mm） |
樣品臺測溫傳感器 | A 級PT100鉑電阻 |
樣品臺溫度 | 室溫到350℃（可選高低溫樣品臺 高溫350℃低溫-190℃） |
樣品臺測溫誤差 | ±0.2℃ |
樣品臺變溫速率 | 高溫10℃/min 低溫5℃/min 最大值 |
溫控儀 | |
溫度顯示 | 7寸人機界面 |
溫控類型 | 標準PID溫控 +自整定（可選30段編程控溫） |
溫度分辨率 | 0.1℃ |
溫控精度 | ±0.5℃ |
溫度信號輸入類型 | PT100熱電阻 （可選 K S B型熱電偶） |
溫控輸出 | 直流線性電源加熱（液氮流量線性控制液氮制冷） |
輔助功能 | 溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線 |
探針 | |
電信號接頭 | 配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米 |
電學性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA |
探針數(shù)量 | 4探針（可定做6探針） |
探針材質(zhì) | 鍍金鎢針 |
探針尖 | 10μm |
探針移動平臺 | |
X軸移動行程 | 12mm ±6mm |
X軸控制精度 | ≤5μm |
Y軸移動行程 | 12mm ±6mm |
Y軸控制精度 | ≤5μm |
Z軸移動行程 | 12mm ±6mm |
Z軸控制精度 | ≤5μm |
數(shù)碼顯微鏡 | |
顯微鏡類別 | 物鏡放大+電子放大 |
顯微鏡放大倍數(shù) | 100倍 |
顯微鏡工作間距 | 50-150mm |
相機分辨率 | 1080P 60幀 |
相機信號輸出 | HDMI輸出+USB輸出 |
LED可調(diào)光源 | LED光源 |
顯示屏 | 5寸 屏幕一體機 |
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